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碳化硅晶體生長

作者:中國科學院成都有機化學有限公司 來源:http://m.chun-tian.cn 日期:2017-04-19 14:33:09


   了解碳化硅的朋友一定都知道,使用商業碳化硅爐有時可以生長出大的半導體碳化硅晶體。然后最近以實驗室規模成功地合成了這種晶體材料。生長在石墨坩堝內部的空心圓柱體中的碳化硅晶片是在碳管爐內加熱到2500℃以上制成的,溫度的安排是要使得碳化硅圓柱體的中心溫度較外部為低。向里面擴散的碳化硅蒸汽因而變得過飽和,并且在圓柱體的中心冷凝下來形成單晶體。可以在工作氣筑中引入某種雜質以改變生長的晶體的成分。

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