二次X射線經平行狹縫變成一束平行光以 后，投射到與平行光束呈夾角θ的分光晶體晶面上。通過測角儀以1∶2的角速度轉動分光 晶體和探測器，可在不同的布拉格角位置上測得不同波長的 X射線而作元素的定性分析。探測器的作用是將 X射線光子能量轉化為電能，常用的有正比計數管和閃爍計數管等。記 錄單元由放大器、脈沖幅度分析器組成。通過脈沖幅度分析器分析后再經計算機處理就可得到被測元素的含量。